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* EMMI微光显微镜是一种效率极高的失效分错析工具, 提供高灵敏度非破坏性的故障定位方式，可侦测和定位非常微弱
的发光（可见光及近红外光）, 由此捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光。
* EMMI侦测对应故障种类涵盖 ESD, Latch up, I/O Leakage, junction defect, hot electrons , oxide current
leakage等所造成的异常。
* EMMI对漏电流的侦测可达微安级别。而LC（液晶热点侦测 Liquid Crystal ）对漏电流的捕捉仅达毫安级别。
（请参阅LC,OBIRCH 相关内容）
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LC / EMMI / OBIRCH 对比 |
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灵敏度 |
背面观察 |
现象 |
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LC |
毫安级别 |
No |
No Hot Spots |
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EMMI |
微安级别 |
No |
Light Emission |
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OBIRCH |
微安级别 |
Yes |
Thermo-electric Property |
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